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MEMS传感器标定方法是怎样的?

 发布时间:2022-08-02 点击量:16
   MEMS传感器是一种可以提供与测量参数相关的电压输出量的仪器。例如,将力转换成电信号。传感器中的位置感应装置对电磁干扰敏感。用较短的连接电缆来减少电阻,可以消除重大误差。一个传感器需要三到四个连接导线来提供电量,输送输出信号。也是一种属于金属感应的线性器件,传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中,位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。
  MEMS传感器标定步骤:
  第一步,先将高精度微位移传感器放置在弹性体的一端的台阶孔内,用端盖固定;然后转动螺杆,拉近弹性体的上下两个薄壁,弹性体内部出现弹性应力和变形,弹性体的两个薄壁之间的垂直接近量通过螺杆下端的伸出量由位移传感器测得;两个端面即内端面和外端面的接近量通过高精度微位移传感器测得;螺杆转动到不同的位置,拟合出垂直接近量与水平接近量的比值C。
  第二步,将高精度微位移传感器从台阶孔中取出,将待标定的微位移传感器置固定台阶孔中,用端盖固定;转动螺杆到不同的位置,位移传感器测出螺杆的伸出量,即弹性体两个薄壁之间的垂直接近量,然后通过比值C求得待标定的微位移传感器两个端面的水平接近量,这个水平接近量与待标定微位移传感器输出电压的变化值的比值,就是待标定的位移传感器的灵敏度。